羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于1944年首先出現(xiàn)于德國，是為適應在10～1000pa壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機械增壓泵使用。

根據(jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵和高真空多級羅茨泵。國內(nèi)用量最多的為中真空羅茨泵。

羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點：

1.在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

2.轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

3.泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；

4.泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

5.壓縮比較低，對抽氣效果差；

6.轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到了廣泛的應用。